미세전자공학(Microelectronics)은 그 역사가 이제 반세기가 지났을 만큼 성숙한 공학 분야 중 하나이다. 그래서 이 분야의 급격한 발전과 인류사회에 대한 영향력은 여전히 크다. 이러한 혁신적인 미세전자공학의 역사 속에서, 우리는 그 기술적 발전을 위해 기여할 수 있는 역할을 부여받아 그 특권을 누려왔으며 이는 생각만 해도 설레는 경험이라고 할 수 있다. 한편, 수년 동안 트랜지스터(Transistor) 크기를 한없이 줄이는 것이 한계에 직면하게 될 것이라고 예측해 왔고, 이러한 예측은 전통적인 소자 물리학을 벗어나야 함에 대한 경고이며 기존의 방식으로는 더 이상의 진보가 없을 것이라는 것에 그 근거를 두고 있다. 그러나 이러한 어려운 상황에서도 다행히 반도체 기술자들과 소자 엔지니어들은 이러한 예측된 사실을 인지할 겨를도 없이 기술의 진보에 끊임없이 노력해 왔다. 그 결과 이런 한계를 극복하기 위한 혁신적인 해법들이 발견되기도 했다. 이렇게 오랫동안 불가능하다고 여겨온 기존 기술의 한계에 대한 선입견을 뒤로하고, 그 한계 극복을 위해 새로운 물질을 도입하는 등의 노력을 기울여왔으며, 이와 관련된 여러 형태의 연구개발은 시기적절하게 진행되고 있어 난관을 극복하는 데에 긍정적으로 작용하고 있다. 이러한 소위 미세전자공학 혁명(Microelectronics Revolution)은 관련 연구자들의 노력에 힘입은 이전에는 없었던 인류의 창조 성과 원천성의 결정체라고 할 수 있겠다.
이 책은 현대의 집적미세전자공학(Integrated Microelectronics)과 관련된 반도체 소자의 동작에 관한 기초 이론을 주로 다루고 있으며, 광전자, 에너지 변환, 혹은 전력전자 등과 관련된 광소자나 전력소자 등에 관한 내용은 포함하지 않는다. 이렇게 현대의 집적미세전자공학에 초점을 둠으로써, 이 책에서는 미세화된 트랜지스터와 다이오드 등의 반도체전자소자의 주파수 응답, 레이아웃, 구조적 효과, 기생 성분 관련 이슈들, 그리고 모델링 등의 다양한 이론을 자세히 다룰 수 있었다. 그러나 이러한 내용들은 광소자 및 전력소자 등의 다른 종류의 소자에도 적용될 수 있을 것으로 여겨진다. 그러므로 이 책은 다양한 소자에 대한 흥미를 가진 폭넓은 학생 층에 부합하는 좋은 참고서적이 될 것이라 믿는다.
1장 전자, 광자 및 포논
2장 평형에서의 캐리어 통계
3장 캐리어 생성 및 재결합
4장 캐리어 표동 및 확산
5장 캐리어의 흐름
6장 PN 접합 다이오드
7장 쇼트키 다이오드 및 저항성 접촉
8장 실리콘 표면과 금속-산화물-반도체 구조
9장 “긴” 금속산화물반도체 전계효과 트랜지스터
10장 “짧은” 금속산화물반도체 전계효과 트랜지스터
11장 양극성 접합 트랜지스터
부록
찾아보기
